探針臺(tái)又稱(chēng)探針測(cè)試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等用途。簡(jiǎn)易型組合式探針臺(tái)結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿(mǎn)足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；譜量光電可以根據(jù)客戶(hù)應(yīng)用搭建探針臺(tái)，以達(dá)到更好得使用效果和性?xún)r(jià)比。