射頻探針臺(tái)是一種高精度的設(shè)備，主要用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析、抽查測(cè)試等用途。它的應(yīng)用主要是使用探針直接測(cè)量晶圓或裸芯片的微波射頻參數(shù)。通過(guò)使用射頻探針，我們能夠在晶片層面上準(zhǔn)確測(cè)量射頻組件的特性，從而縮短研發(fā)時(shí)間，降低新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)成本。探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈?，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試?？梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入最終產(chǎn)品的信息。