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簡(jiǎn)要描述：譜量根據(jù)客戶(hù)實(shí)際應(yīng)用需求，推出精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，性?xún)r(jià)比高的簡(jiǎn)易模塊化探針臺(tái)，該探針臺(tái)系統(tǒng)包括顯微成像模塊、四維調(diào)整載物臺(tái)、真空吸附系統(tǒng)、探針座、隔振平臺(tái)等。 多用于晶圓測(cè)試、LED測(cè)試、功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試、液晶面板測(cè)試、太陽(yáng)能電池片測(cè)試、側(cè)料電阻率測(cè)試以及搭建材料電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、光電探測(cè)器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電Mapping測(cè)試系統(tǒng)等
產(chǎn)品型號(hào)：TLRH系列廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2024-06-26瀏覽次數(shù)：775相關(guān)文章ARTICLES
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 樣品臺(tái)尺寸 | 4英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺(tái)行程 | XY軸110mm，Z軸10mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào) | 樣品臺(tái)位移精度 | 3μm |
| 背電極測(cè)試功能 | 可引背電極 | 樣品臺(tái)真空吸附 | 進(jìn)口無(wú)油真空泵，7L/min |
| 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附 | 樣品臺(tái)定制化 | 可定制（尺寸/材質(zhì)/鍍金/背光） |
| 探針座行程 | XYZ三軸13mm | 探針座調(diào)節(jié)精度 | 3μm |
| 探針座固定方式 | 可調(diào)磁力吸附（可選配真空吸附，螺絲固定） | 接口形式 | 香蕉插頭、鱷魚(yú)夾、BNC、SMA、N同軸接口/三同軸接口 |
| 成像顯微鏡 | 雙目體式顯微鏡（可升級(jí)金相顯微鏡） | 放大倍數(shù) | ~200倍（最大可升級(jí)到~1000倍） |
| CCD | 2000W高清彩色相機(jī) | 顯微鏡位移行程 | XY行程25mm*25mm，分辨率3μm |
| 探針座數(shù)量 | 標(biāo)配 3 個(gè) |
TLRH系列精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a(chǎn)業(yè)研發(fā)需要，而特定設(shè)計(jì)的一款高精密高穩(wěn)定探針臺(tái)，其較高的位移調(diào)節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制，已成為包括場(chǎng)效應(yīng)管在內(nèi)的多端器件IV測(cè)試的理想之選。
.模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試；
. 最大可用于12寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試;
.探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3um，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié)；
. 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試；
. 滿(mǎn)足1um以上電極/PAD使用;
. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;
. 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線(xiàn)性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì);
. 加寬探針?lè)胖眉?，可放?個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座；
. 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。
模塊介紹
相關(guān)配件
多種精度，多種夾具類(lèi)型探針座
同軸線(xiàn)纜，三同軸線(xiàn)纜
各種類(lèi)型探針
真空泵
電學(xué)測(cè)試夾具
電磁屏蔽箱
半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)、功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試、液晶面板測(cè)試、測(cè)量表面電阻率測(cè)試、精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)、航空航天實(shí)驗(yàn)等。
譜量光電可根據(jù)客戶(hù)實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)，以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性?xún)r(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢(xún)。
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