產(chǎn)品介紹
高低溫真空探針臺系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件因接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差，是材料學(xué)、芯片、半導(dǎo)體器件等方向?qū)嶒灧治龅睦硐脒x擇。

技術(shù)優(yōu)勢

· 控溫范圍可達(dá)-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系統(tǒng)）；

· 控溫精度可達(dá)±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃;

· 極限真空度優(yōu)于2Pa@機(jī)械泵，極限真空度優(yōu)于3*10^(-3)Pa@分子泵組；

· 探針位移重復(fù)定位精度2μm，分辨率3μm，單軸直線度±2μm；

· 三同軸探針夾具，漏電精度100fA，陶瓷結(jié)構(gòu);

· 樣品臺多個尺寸可選，常規(guī)有4/6/8/12英寸。

通用參數(shù)

選型表

相關(guān)配件

多種精度，多種夾具類型探針座

同軸線纜，三同軸線纜

各種類型探針

真空泵

電學(xué)測試夾具

電磁屏蔽箱

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體材料光電檢測，功率器件測試，MEMS測試，PCB測試，液晶面板測試，測量表面電阻率測試，精密儀器生產(chǎn)檢測，航空航天實驗室。

譜量光電可以根據(jù)客戶實際應(yīng)用需求，定制配套高低溫真空探針臺系統(tǒng)，以達(dá)到更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢